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yangfengfan888银虫 (小有名气)
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【求助】磁控溅射镀膜的问题——薄膜的电阻很大是什么原因造成的？ 已有1人参与
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各位大侠： 我采用磁控溅射镀金属膜，厚度200-500nm,薄膜的电阻很大，万用表量约10M欧/1cm,这是什么原因造成的呢？ 本地真空到10-5Pa。 最新结果： 很可能是漏气了， 1、我发现用Ar气反复清洗管道，并抽真空3小时，做的Cu膜电阻小多了，原来同样的实验条件，溅射2h，电阻为2k欧/1cm，这次溅射一个小时是200欧。 但是Cu膜的颜色为黑色，不是金黄色？是不是还是有点氧化？？？？ 2、另外发现关闭气瓶(管道内有氩气，打开减压阀)，发现氧气压力示数变小好几兆帕，肯定是这段管道有点漏气，可能是减压阀坏了，进一步检查中。 [ Last edited by yangfengfan888 on 2010-3-13 at 12:04 ] |
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