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courage

木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】制作1微米宽的微通道

想制作颗粒计数微流体芯片,需要的gate通道大小为1um,请问:哪个地方可以打印出这个分辨率(1um)的光刻掩模?
谢谢
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liushanhu

铁杆木虫 (著名写手)


courage(金币+3):谢谢,能再详细些最好了。 2010-01-29 12:47
南京大学
2楼2010-01-29 12:30:25
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jing15209791

金虫 (正式写手)

courage(金币+2):your answer is greatly appreciated 2010-01-29 23:52
南京大学化学楼503
3楼2010-01-29 16:33:41
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liushanhu

铁杆木虫 (著名写手)


wdwsnnu:什么打印机? 2010-01-29 19:17
今天听说,不过貌似也是在一家打印店搞的。
4楼2010-01-29 16:37:29
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kevinsun17

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by courage at 2010-01-29 10:29:47:
想制作颗粒计数微流体芯片,需要的gate通道大小为1um,请问:哪个地方可以打印出这个分辨率(1um)的光刻掩模?
谢谢

路过好奇想问一下如何来实现颗粒计数呢?
为失败找借口前,请先为成功找方法
5楼2010-02-01 21:10:56
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yugan2008

银虫 (初入文坛)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
找我吧,0.5~2微米,我们都可以做
小木
6楼2010-03-01 14:21:27
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courage

木虫 (正式写手)

能否详细探讨?该如何联系您呢?谢谢
7楼2010-03-04 13:10:34
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maccaboy

至尊木虫 (著名写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by courage at 2010-01-29 10:29:47:
想制作颗粒计数微流体芯片,需要的gate通道大小为1um,请问:哪个地方可以打印出这个分辨率(1um)的光刻掩模?
谢谢

打印是什么意思啊?
8楼2010-03-08 09:19:55
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zeusshang

金虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
1um的用打印来做可信度太低了,并且还要用来做光刻,找个正经的掩膜版生产商是正道

[ Last edited by zeusshang on 2010-3-8 at 16:35 ]
微纳加工
9楼2010-03-08 16:34:02
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wangxic60

木虫 (小有名气)

楼上说的对,还是找掩膜版商比较好。
10楼2010-03-11 10:08:45
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