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courage

木虫 (正式写手)

抱歉,我把两个概念给混淆了:光刻和紫外曝光。我们做微流体芯片都是采用软光刻的方法(打印掩模-UV曝光(采用SU-8光刻胶)-在master上倒上PDMS)。不知掩膜版生产商做出的掩模也可用于UV曝光?不好意思,我不太懂光刻的过程。
11楼2010-03-11 13:26:36
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zeusshang

金虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
就是用x射线曝光也是光刻啊
掩膜也有很多种,普通的玻璃掩膜就是用来做紫外曝光的
微纳加工
12楼2010-03-11 13:32:53
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匿名


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
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13楼2010-03-12 20:38:06
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