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zkdmazhann

金虫 (小有名气)

CVD-Graphene-Flexible-ele ...

[交流] 【求助】气体流量换算

你们好,我买了一个MKS公司的一个按氩气标定的1000SCCM的流量计,本来想通AR气的,但是我们的实验上想用这个流量计通N2氮气,但是不知道他们的换算关系,你们能否帮忙一下,比如,我用这个流量计通入通入100SCCM的氮气,也就是 说我设定氮气100SCCM,不知道实际上通过多少氮气?你们帮忙一下吧,谢谢

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guiyingsu

木虫 (正式写手)

★ ★
zkdmazhann(金币+2):谢谢,是不是氩气和氮气之间有一个转换关系呀?你知道吗? 1-22 22:33
看你的型号应该是质量流量计吧,我用的是20、100、150、200、300SCM的,不管是以什么气体为基准设计的,在使用前都要重新标定的,你先用气体通过流量计,再后面接一个湿式流量计,每转一圈是5L,你记一下时间,多取几个数据,再线性回归就可以了,我每次用之前都要重新标定一下的!
感激身边每一个人
5楼2010-01-22 18:54:29
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liconglin970410

荣誉版主 (文坛精英)

笨笨兔

说明书没有写如何换算吗?七星华创的都是以氮气做标定,有一个换算公式,你这个MKS的还真没接触过
保佑我家北北健康,平安。。。
2楼2010-01-22 16:39:34
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青春无敌

新虫 (小有名气)

化工原理上册有讲解
嚼得菜根,做得大事!
3楼2010-01-22 17:20:29
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xujifu

金虫 (小有名气)

可根据克拉伯龙方程计算下的,氩气:氮气=氩密度X氮气分子量/氮气密度/氩气分子量,可试试看
4楼2010-01-22 18:17:01
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