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【求助】气体流量换算
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| 你们好,我买了一个MKS公司的一个按氩气标定的1000SCCM的流量计,本来想通AR气的,但是我们的实验上想用这个流量计通N2氮气,但是不知道他们的换算关系,你们能否帮忙一下,比如,我用这个流量计通入通入100SCCM的氮气,也就是 说我设定氮气100SCCM,不知道实际上通过多少氮气?你们帮忙一下吧,谢谢 |
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liconglin970410
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