| 查看: 690 | 回复: 8 | |||
| 当前主题已经存档。 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
[交流]
【讨论】大家帮忙说说我的样品(单晶基片上的铝膜)能否做EBSD呢？
|
|||
|
封装好的电子器件，尺寸大概1cm X 0.5cm，把其中一面的塑料壳磨掉，露出里面引线键合着的芯片。芯片是镀有一层金属铝膜的基片，基片尺寸大概 8mm X 2mm X 0.5mm，其上的铝膜厚度约500nm，铝膜已经光刻蚀刻图形化，成为线宽10μm，线距10μm的铝线图形。 我想表征的是铝膜的晶粒尺寸分布，但SEM下显示的图形无法判断，TEM制样又太麻烦，现在想用EBSD来做，大伙说这个样品适合做EBSD么，能得到清晰的晶粒取向图形，能判断晶粒尺寸吗？(薄膜中Al晶粒尺寸较小，我估计在200nm至1.5μm之间) [ Last edited by r9arrow on 2010-1-20 at 20:58 ] 检测表征 [ Last edited by ding2008212 on 2011-3-24 at 12:17 ] |
回复此楼» 猜你喜欢
805600专硕材料与化工348分求调剂
已经有6人回复
-
重庆大学材料与化工085600，初试370+，求求调剂建议
已经有5人回复
-
309求调剂
已经有3人回复
-
一志愿北交大材料工程，总分358
已经有4人回复
-
302求调剂一志愿北航070300，本科郑大化学
已经有11人回复
-
化学工程专硕324分，一志愿中国矿业大学求调剂
已经有7人回复
-
材料求调剂
已经有11人回复
-
【求调剂】新能源材料本科，一志愿211，初试321
已经有4人回复
-
336求调剂
已经有5人回复
-
材料求调剂
已经有8人回复
comma
专家顾问 (知名作家)
材料人
-
专家经验: +552 - MM-EPI: 36
- 应助: 501 (博士)
- 贵宾: 0.868
- 金币: 54326
- 红花: 247
- 帖子: 7663
- 在线: 1649.1小时
- 虫号: 190601
- 注册: 2006-02-20
- 专业: 金属材料的微观结构
- 管辖: 金属
6楼2010-01-21 12:23:03
seamaid_love
金虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 877.5
- 帖子: 96
- 在线: 21.7小时
- 虫号: 934761
- 注册: 2009-12-29
- 性别: GG
- 专业: 工业工程与管理
2楼2010-01-20 22:12:07
3楼2010-01-20 23:02:25
comma
专家顾问 (知名作家)
材料人
-
专家经验: +552 - MM-EPI: 36
- 应助: 501 (博士)
- 贵宾: 0.868
- 金币: 54326
- 红花: 247
- 帖子: 7663
- 在线: 1649.1小时
- 虫号: 190601
- 注册: 2006-02-20
- 专业: 金属材料的微观结构
- 管辖: 金属
4楼2010-01-20 23:20:01
120