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【讨论】大家帮忙说说我的样品(单晶基片上的铝膜)能否做EBSD呢？
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封装好的电子器件，尺寸大概1cm X 0.5cm，把其中一面的塑料壳磨掉，露出里面引线键合着的芯片。芯片是镀有一层金属铝膜的基片，基片尺寸大概 8mm X 2mm X 0.5mm，其上的铝膜厚度约500nm，铝膜已经光刻蚀刻图形化，成为线宽10μm，线距10μm的铝线图形。 我想表征的是铝膜的晶粒尺寸分布，但SEM下显示的图形无法判断，TEM制样又太麻烦，现在想用EBSD来做，大伙说这个样品适合做EBSD么，能得到清晰的晶粒取向图形，能判断晶粒尺寸吗？(薄膜中Al晶粒尺寸较小，我估计在200nm至1.5μm之间) [ Last edited by r9arrow on 2010-1-20 at 20:58 ] 检测表征 [ Last edited by ding2008212 on 2011-3-24 at 12:17 ] |
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