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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 交流互助 » 【求助】磁控溅射
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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limei8018

管理员

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[交流] 【求助】磁控溅射

磁控溅射制备合金薄膜时，怎样控制成分之间的成分比(如 FeCu2)？
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1楼 2010-01-19 20:18:40
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lj-cmf8719

专家顾问

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
可试采用合金靶材，仅供参考
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朋友们好，能在这里认识大家，和大家交流真好，希望我们成为朋友，互相帮助。
2楼2010-01-20 09:33:32
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fingo

管理员

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
Cu和Fe怎么合金呢  ls
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3楼2010-01-20 09:43:55
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Tavano

超级版主

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★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
yusen_1982(金币+1):欢迎讨论！！！ 1-25 11:22
用双靶或者复合靶吧
如果双靶的话改变每个靶的溅射功率或者电流连续调整成分
如果是复合靶的话改变每个不同元素靶的面积
比合金靶更灵活

[ Last edited by Tavano on 2010-1-20 at 13:08 ]
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4楼2010-01-20 11:04:07
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gkcgkc

版主

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
同意楼上的
用双靶
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5楼2010-01-20 12:41:56
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