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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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limei8018

版主

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[交流] 【求助】磁控溅射

磁控溅射制备合金薄膜时,怎样控制成分之间的成分比(如 FeCu2)?
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lj-cmf8719

管理员

优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
可试采用合金靶材,仅供参考
朋友们好,能在这里认识大家,和大家交流真好,希望我们成为朋友,互相帮助。
2楼2010-01-20 09:33:32
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fingo

主管区长

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Cu和Fe怎么合金呢  ls
3楼2010-01-20 09:43:55
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Tavano

兑换贵宾

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★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
yusen_1982(金币+1):欢迎讨论!!! 1-25 11:22
用双靶或者复合靶吧
如果双靶的话改变每个靶的溅射功率或者电流连续调整成分
如果是复合靶的话改变每个不同元素靶的面积
比合金靶更灵活

[ Last edited by Tavano on 2010-1-20 at 13:08 ]
4楼2010-01-20 11:04:07
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gkcgkc

实习版主

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同意楼上的
用双靶
5楼2010-01-20 12:41:56
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