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hdnabc

木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】等离子体镀金

在做SEM时,在试样表面用等离子体蒸镀的方式coating了一层金,如何具体知道这层金有多厚呀?
据说好像是几个纳米。。。
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bryano

木虫 (正式写手)


闪闪红心(金币+1,VIP+0):谢谢 1-15 19:56
这种模式生长速度应该是比较均匀吧,不像PLD,磁控溅射等有个速度变化曲线。不行你就多沉积一段时间再测厚度,算个平均值就是了。我想大概10分钟左右SEM就可以分辨了,当然,SEM测膜厚还是有个误差的。
2楼2010-01-15 10:40:40
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hdnabc

木虫 (著名写手)

这个技术本来就是用于sem看不导电的材料的。呵呵
用SEM看是没有意义的!呵呵
3楼2010-01-15 18:05:10
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bryano

木虫 (正式写手)

引用回帖:
Originally posted by hdnabc at 2010-1-15 18:05:
这个技术本来就是用于sem看不导电的材料的。呵呵
用SEM看是没有意义的!呵呵

没错,是用来看形貌的,所以只要有个经验值就行了,用多大电流蒸多少秒就ok,没必要知道具体厚度。
4楼2010-01-16 16:01:30
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hdnabc

木虫 (著名写手)

呵呵,我是要用它做别的实验,厚度很重要的!!!
5楼2010-01-17 05:50:15
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wwxuan1983

木虫 (正式写手)

工程师

★ ★ ★ ★ ★
hdnabc(金币+5,VIP+0): 1-21 10:30
一般5~7min 厚度5~10nm!
6楼2010-01-20 13:41:16
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dingdingcan

铜虫 (初入文坛)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by wwxuan1983 at 2010-01-20 13:41:16:
一般5~7min 厚度5~10nm!

实际蒸金过程只有5S,10S之类的,没有5分钟那么长,LZ真的想看厚度只有通过聚焦等离子束(做TEM制样的,不是你蒸金的那台机器)做界面切割然后测量厚度,通过一系列实验得到一个经验值。个人能力有限,想不出其他办法了·····
7楼2010-03-03 11:23:18
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