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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 【求助】等离子体镀金
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hdnabc

木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】等离子体镀金

在做SEM时，在试样表面用等离子体蒸镀的方式coating了一层金，如何具体知道这层金有多厚呀？
据说好像是几个纳米。。。
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1楼 2010-01-15 10:17:21
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bryano

木虫 (正式写手)
★
闪闪红心(金币+1,VIP+0):谢谢 1-15 19:56
这种模式生长速度应该是比较均匀吧，不像PLD，磁控溅射等有个速度变化曲线。不行你就多沉积一段时间再测厚度，算个平均值就是了。我想大概10分钟左右SEM就可以分辨了，当然，SEM测膜厚还是有个误差的。
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2楼2010-01-15 10:40:40
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hdnabc

木虫 (著名写手)
这个技术本来就是用于sem看不导电的材料的。呵呵
用SEM看是没有意义的！呵呵
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3楼2010-01-15 18:05:10
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bryano

木虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by hdnabc at 2010-1-15 18:05:
这个技术本来就是用于sem看不导电的材料的。呵呵
用SEM看是没有意义的！呵呵

没错，是用来看形貌的，所以只要有个经验值就行了，用多大电流蒸多少秒就ok，没必要知道具体厚度。
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4楼2010-01-16 16:01:30
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hdnabc

木虫 (著名写手)
呵呵，我是要用它做别的实验，厚度很重要的！！！
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5楼2010-01-17 05:50:15
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wwxuan1983

木虫 (正式写手)

工程师
★ ★ ★ ★ ★
hdnabc(金币+5,VIP+0): 1-21 10:30
一般5~7min 厚度5~10nm！
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6楼2010-01-20 13:41:16
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dingdingcan

铜虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by wwxuan1983 at 2010-01-20 13:41:16:
一般5~7min 厚度5~10nm！

实际蒸金过程只有5S,10S之类的，没有5分钟那么长，LZ真的想看厚度只有通过聚焦等离子束（做TEM制样的，不是你蒸金的那台机器）做界面切割然后测量厚度，通过一系列实验得到一个经验值。个人能力有限，想不出其他办法了·····
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7楼2010-03-03 11:23:18
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