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yzl

金虫 (正式写手)

[交流] 【讨论】关于EDX的分辨率

我们的EDX是从 Oxford Instrument 买的,型号6650. 这台EDX和SEM(FEI公司)安装在一起,从而可以做形貌和元素分析。SEM的分辨率可以到~1nm. 但不知道EDX的空间分辨率一般能到多少?
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refnew

专家顾问 (知名作家)



小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
这个阿,估计最小也得几十纳米,请专业的人士来回答
2楼2010-01-11 08:16:49
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zhanglexi

铁杆木虫 (著名写手)

小木虫路过之王

同意楼上,可以多打几个地方啊。
另外看看本版块关于EDS的介绍
Inner peace.
3楼2010-01-11 10:26:47
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