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yzl

金虫 (正式写手)

[交流] 【讨论】关于EDX的分辨率

我们的EDX是从 Oxford Instrument 买的,型号6650. 这台EDX和SEM(FEI公司)安装在一起,从而可以做形貌和元素分析。SEM的分辨率可以到~1nm. 但不知道EDX的空间分辨率一般能到多少?
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