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【求助】SEM ESEM FE-SEM 的优势各是什么啊 已有1人参与
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想问下高人 SEM ESEM 和FE-SEM 他们各自的优势是什么呢 呵呵 谢谢指教啊 |
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cynthia916
银虫 (正式写手)
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小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
happy169(金币+1):谢谢参与,欢迎常来分析版 2010-04-02 07:38
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
happy169(金币+1):谢谢参与,欢迎常来分析版 2010-04-02 07:38
| 首先ESEM FE-SEM均属于SEM,ESEM更多的应用于生物材料,可以满足不导电样品(在不用金coating时),或者需要高温的等等特殊要求。FE-SEM就是电子枪是场发射的gun source,可以有效减小probe diameter,就是针尖电流的直径,由于beam是在样品的两个垂直方向上同时扫描从而形成图像的,所以可以想象电镜的resolution得到了大大提高。实际中就是,用普通的Lab6做gun source的SEM,10K以上我就调不清楚了,而用field emission的gun source,100k依旧NB |

3楼2010-04-01 19:29:32
flyover08
荣誉版主 (著名写手)
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