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【求助】SEM ESEM FE-SEM 的优势各是什么啊 已有1人参与
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想问下高人 SEM ESEM 和FE-SEM 他们各自的优势是什么呢 呵呵 谢谢指教啊  |
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flyover08
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内阁大学士兼小木虫国老
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2楼2010-01-18 10:35:59
cynthia916
银虫 (正式写手)
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- 专业: 金属材料的微观结构
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小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
happy169(金币+1):谢谢参与，欢迎常来分析版 2010-04-02 07:38
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
happy169(金币+1):谢谢参与，欢迎常来分析版 2010-04-02 07:38
| 首先ESEM FE-SEM均属于SEM，ESEM更多的应用于生物材料，可以满足不导电样品（在不用金coating时），或者需要高温的等等特殊要求。FE-SEM就是电子枪是场发射的gun source，可以有效减小probe diameter，就是针尖电流的直径，由于beam是在样品的两个垂直方向上同时扫描从而形成图像的，所以可以想象电镜的resolution得到了大大提高。实际中就是，用普通的Lab6做gun source的SEM，10K以上我就调不清楚了，而用field emission的gun source，100k依旧NB |
3楼2010-04-01 19:29:32
4楼2010-04-07 08:44:45
