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单晶或多晶薄膜
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向大家请教个问题，请大家多多帮忙，给我讲讲。 比如说钇铁石榴石材料。 液相外延生长出来的是单晶薄膜，这个我知道。 但是射频溅射(rf-sputtering)，激光脉冲沉积（PLD）等方法制备的晶体薄膜时单晶还是多晶薄膜呢？ 这些方法都用到了GGG衬底。 |
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xqzhang56
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