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[交流]
【求助】直流磁控溅射
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我用磁控溅射做SmFe磁致伸缩薄膜，用的功率在80左右，本底真空度在2.0*10-4Pa做完后发现靶材的心部给炭一样黑，是什么原因造成的，另外做出的膜性能也不好! [ Last edited by wdwsnnu on 2010-2-1 at 19:03 ] |
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7楼2010-02-03 16:32:08
linlin1013
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zhoujun65
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4楼2009-12-16 11:23:52