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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【求助】直流磁控溅射
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洒洒水

铁虫 (小有名气)

[交流] 【求助】直流磁控溅射

我用磁控溅射做SmFe磁致伸缩薄膜，用的功率在80左右，本底真空度在2.0*10-4Pa做完后发现靶材的心部给炭一样黑，是什么原因造成的，另外做出的膜性能也不好!

[ Last edited by wdwsnnu on 2010-2-1 at 19:03 ]
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1楼 2009-12-15 10:03:52
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洒洒水

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by linlin1013 at 2009-12-15 15:24:
我做磁控溅射的时候也有这种情况，溅射的多了靶心就变黑了，
磁控溅射靶本来就是圆环形状溅射出的多，中心和外圈溅射的少，时间长了中心和外圈就有些黑色的粉样的东西。
我建议你可以把靶材拿出来清洗一次，把黑 ...

我的是全部的心部大约在直径3.5个mm给黑炭一样黑，很奇怪的就像黑锅底一样!我打磨了一下打算换点小的功率试一下！
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3楼2009-12-16 10:08:36
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linlin1013

金虫 (正式写手)
★ ★
薰衣草儿(金币+2,VIP+0):欢迎讨论~ 1-18 13:08
我做磁控溅射的时候也有这种情况，溅射的多了靶心就变黑了，
磁控溅射靶本来就是圆环形状溅射出的多，中心和外圈溅射的少，时间长了中心和外圈就有些黑色的粉样的东西。
我建议你可以把靶材拿出来清洗一次，把黑色的东西磨掉，（你的应该是金属合金靶材吧？）
另外你的真空室腔体里面，挡板什么的是不是很久没有清洗过了？最好做一次清洗，薄膜的性能不好很可能与真空室不够清洁有灰尘杂质有关。
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2楼2009-12-15 15:24:05
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zhoujun65

至尊木虫 (知名作家)
★ ★
薰衣草儿(金币+1,VIP+0):欢迎讨论~ 1-18 13:08
洒洒水(金币+1,VIP+0): 1-19 11:07
可以把靶材拿出来清洗一次，把黑色的东西磨掉
赞一下(12人) 回复此楼
4楼2009-12-16 11:23:52
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maccaboy

至尊木虫 (著名写手)
★ ★
薰衣草儿(金币+1,VIP+0):欢迎讨论~ 1-18 13:08
洒洒水(金币+1,VIP+0): 1-19 11:06
和本底真空没大的关系
好像和溅射时的压力和功率有关  
如果溅射厚度不够应该是功率太小
摸摸看  要慢慢摸
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5楼2010-01-18 12:07:14
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