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【求助】磁控溅射薄膜制备
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| 在溅射过程中阴极附近离子束温度怎么确定，文献中提到的是与功率有关系但是没有找到具体关系式和估算方法，有这方面的高手请指导一下，谢谢！ |
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venturehit
木虫 (正式写手)
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qfw_68
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有尾巴的青蛙
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