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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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洒洒水

实习版主

优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!

[交流] 【求助】磁控溅射薄膜制备

在溅射过程中阴极附近离子束温度怎么确定,文献中提到的是与功率有关系但是没有找到具体关系式和估算方法,有这方面的高手请指导一下,谢谢!
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venturehit

管理员

优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!

如果是测电子温度的话用朗缪尔探针
如果是测摄氏度的话可以用红外测温仪
具体的测量方法网上就有的
呵呵
2楼2009-12-11 17:21:15
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洒洒水

兑换贵宾

优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!

不是这样吧,我说的是估算,好像有个根据功率估算的公式,谢谢
3楼2009-12-14 09:11:29
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qfw_68

新虫

有尾巴的青蛙

引用回帖:
Originally posted by 洒洒水 at 2009-12-14 09:11:
不是这样吧,我说的是估算,好像有个根据功率估算的公式,谢谢

与反应室气压也有很大关系。
没有困难创造困难也要上网。
4楼2009-12-14 10:00:38
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