| 查看: 1293 | 回复: 4 | |||
| 当前主题已经存档。 | |||
jiangweijw铜虫 (小有名气)
|
[交流]
【请教】可以用氢氧化钠腐蚀硅片上的二氧化硅层吗
|
||
| 除了用HF腐蚀SiO2外,可以用NaOh腐蚀SiO2吗? |
回复此楼» 猜你喜欢
请问对标matlab的开源软件octave的网站https://octave.org为什么打不开？
已经有1人回复
-
求助两种BiOBr晶体的CIF文件（卡片号为JCPDS 09-0393与JCPDS 01-1004 ）
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有50人回复
-
哈尔滨工程大学材化学院国家级青年人才-26年硕士招生
已经有0人回复
-
求助Fe-TCPP、Zn-TCPP的CIF文件，或者CCDC号
已经有0人回复
-
河北大学-招收26年秋季入化学博士1名
已经有0人回复
-
XPS/?λXPS
已经有0人回复
-
河北大学-招收化学博士1名
已经有0人回复
drintor
木虫 (著名写手)
木虫游民
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 3464.2
- 散金: 553
- 红花: 3
- 帖子: 1971
- 在线: 210.6小时
- 虫号: 682836
- 注册: 2008-12-27
- 性别: GG
- 专业: 工程热物理相关交叉领域
2楼2009-12-10 14:59:33
wangyang7887
至尊木虫 (知名作家)
孤独的牧羊人
- MN-EPI: 1
- 应助: 40 (小学生)
- 金币: 21974.7
- 散金: 169
- 红花: 22
- 帖子: 6685
- 在线: 474.6小时
- 虫号: 606654
- 注册: 2008-09-19
- 性别: GG
- 专业: 无机纳米化学
3楼2009-12-10 15:01:27
venturehit
木虫 (正式写手)
- 应助: 7 (幼儿园)
- 金币: 2597.5
- 散金: 31
- 红花: 1
- 帖子: 385
- 在线: 72小时
- 虫号: 649925
- 注册: 2008-11-09
- 性别: GG
- 专业: 微/纳机械系统
4楼2009-12-10 23:46:40
damuchongzi
铁杆木虫 (小有名气)
- 应助: 9 (幼儿园)
- 金币: 13858.7
- 帖子: 81
- 在线: 97.6小时
- 虫号: 254358
- 注册: 2006-05-27
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
| 根据你的题目，回答如下：NaOH溶液腐蚀SiO2的速率较慢（和SiO2的生长方法以及溶液浓度、温度有关），但它是一种有效各向异性的Si腐蚀液。看你的专业方向是半导体器件，难道不知道Na K 离子的沾污对器件及其它工艺的影响么？一般只有在少数器件加工中用到KOH溶液,如VDMOS，但现在多采用TMAH来腐蚀Si（考虑对工艺的污染）. SiO2的湿法腐蚀一般采用BOE(HF酸的一种缓冲液，可有效控制腐蚀速度减小undercut）。另外捎带对3楼的说法提出一些改动：硅片清洗的常用方法（如CMOS)是采用Piranha溶液或RCA溶液去除有机和金属沾污。随便找几本工艺资料，这些都会有解释。 |
5楼2009-12-12 06:44:14