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jiangweijw铜虫 (小有名气)
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[交流]
【请教】用HF如何处理SiO2?
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| 做纳米器件时,衬底是si片,接入背栅之前,用HF腐蚀Si片时,腐蚀之后还需要如何清理吗?除了HF之后,有可以HF的吗? |
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2楼2009-12-09 21:43:55
jiangweijw
铜虫 (小有名气)
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3楼2009-12-10 08:41:16
zhywell22
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4楼2009-12-12 14:14:09
