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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【请教】用HF如何处理SiO2?
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jiangweijw

铜虫 (小有名气)

[交流] 【请教】用HF如何处理SiO2?

做纳米器件时,衬底是si片,接入背栅之前,用HF腐蚀Si片时,腐蚀之后还需要如何清理吗?除了HF之后,有可以HF的吗?
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1楼 2009-12-09 16:54:16
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zhengzhy

金虫 (初入文坛)
★ ★ ★ ★
mhwu514(金币+1,VIP+0):谢谢讨论。 12-9 22:55
jiangweijw(金币+3,VIP+0):感谢 12-10 16:33
首先用丙酮洗下---浓硫酸+过氧化氢洗------煮沸------HF泡2min------丙酮超声-----水清洗-----吹干
这样就可以了，这个就处理si 表面氧化sio2的，供参考

[ Last edited by zhengzhy on 2009-12-9 at 21:45 ]
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2楼2009-12-09 21:43:55
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jiangweijw

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by zhengzhy at 2009-12-9 21:43:
首先用丙酮洗下---浓硫酸+过氧化氢洗------煮沸------HF泡2min------丙酮超声-----水清洗-----吹干
这样就可以了，这个就处理si 表面氧化sio2的，供参考

[ Last edited by zhengzhy on 2009-12-9 at 21:45 [ ...

腐蚀Si片时，可以用NaOh取代HF吗
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3楼2009-12-10 08:41:16
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zhywell22

木虫 (正式写手)
NAOH 也行啊
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4楼2009-12-12 14:14:09
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