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【求助】请教有关薄膜电解质LiPON的问题？
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| 我是做薄膜锂离子电池研究工作的，在用Li3PO4靶材沉积生长LiPON时，出现了些问题：主要是生长速度太慢，将功率调节上去后，靶又容易裂开。已经裂开两个靶了。我看大部文献的生长功率只有100W左右，我的却调到了300W，单位面积的功率都要比文献上报道的大很多。请问这是不是靶的原因？谢谢！ |
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2楼2009-12-07 12:07:51
maike
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