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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 电化学 » 电化资源 » 【求助】请教有关薄膜电解质LiPON的问题？
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maike

捐助贵宾 (著名写手)

[交流] 【求助】请教有关薄膜电解质LiPON的问题？

我是做薄膜锂离子电池研究工作的，在用Li3PO4靶材沉积生长LiPON时，出现了些问题：主要是生长速度太慢，将功率调节上去后，靶又容易裂开。已经裂开两个靶了。我看大部文献的生长功率只有100W左右，我的却调到了300W，单位面积的功率都要比文献上报道的大很多。请问这是不是靶的原因？谢谢！
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1楼 2009-12-07 11:12:29
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土纸

金虫 (著名写手)

贵金属、钛合金合金靶材制备与

大家谈谈，
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电镀、真空镀膜，金属熔炼与加工，贵金属靶材，钛合金靶材，金银铂铑钯钌等出售
2楼2009-12-07 12:07:51
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maike

捐助贵宾 (著名写手)
问了一个韩国老师，他说一般从公司买的靶材，生长速度与质量都达不到要求，他们是自己压制的靶材。感觉只要我能按他们的要求自己压制靶材的话，也应该能解决这个问题。
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3楼2009-12-08 18:52:19
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