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【求助】请教有关薄膜电解质LiPON的问题?
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| 我是做薄膜锂离子电池研究工作的,在用Li3PO4靶材沉积生长LiPON时,出现了些问题:主要是生长速度太慢,将功率调节上去后,靶又容易裂开。已经裂开两个靶了。我看大部文献的生长功率只有100W左右,我的却调到了300W,单位面积的功率都要比文献上报道的大很多。请问这是不是靶的原因?谢谢! |
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2楼2009-12-07 12:07:51
maike
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