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[交流]
怎么去除微探尖的残留生长液？
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如图所示，用液相外延方法生长出的微探尖，可以明显看到残留有生长液，影响了探尖的形状和性能。好像工业生产过程中也会遇到这种问题，一般都是怎么解决的？ 本帖关键词：液相 外延 工业生产 性能 形状 [ Last edited by xyb_yuan on 2009-12-2 at 14:44 ] |
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