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世界各国洁净度等级比照表
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世界各国洁净度等级比照表 国 名 美 国 美 国 日 本 英 国 德 国 规 格 FS 209D FS 209E JIS B 9920 BS 5295 VDI 2083 年 度 1988 1992 1989 1989 1990 粒子基准 0.5 um 0.5 um 0.1 um 0.5 um 1 um 单 位 pcs/ft3 pcs/m3 pcs/m3 pcs/m3 pcs/m3 等 级 - - 1 - - - M 1 2 - 0 1 M1.5 3 C 1 10 M2.5 4 D 2 100 M3.5 5 E~F 3 1,000 M4.5 6 G~H 4 10,000 M5.5 7 I 5 100,000 M6.5 8 J 6 - M 7 - K 7 - - - L 8 |
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