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【求助】磁控溅射真空度上不去
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我们实验室，磁控溅射仪请人用酸洗过真空室后，真空度只能抽到-3到不了-4.那位高人知道原因吗？ |
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ty198507161978
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3楼2009-11-25 10:39:04
yjyang07
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2楼2009-11-24 18:39:16
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真空抽的特别慢 5楼2009-11-26 15:59:09