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flimxia

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】磁控溅射真空度上不去

我们实验室,磁控溅射仪请人用酸洗过真空室后,真空度只能抽到-3到不了-4.那位高人知道原因吗?
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吾爱吾师,我更爱真理。
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yjyang07

木虫 (著名写手)

这个很麻烦了
可能的原因很多
必须自己亲自检漏
我的磁控溅射搞了两个多月才把真空度搞好
天行健,君子以自强不息~~~~~
2楼2009-11-24 18:39:16
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ty198507161978

铜虫 (小有名气)

用烘烤灯烘个24小时,在抽抽看
3楼2009-11-25 10:39:04
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axiom0409

新虫 (初入文坛)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
最快的方式就是拿火焰槍做烘烤hot baking
烤到stainless steel呈現淡淡的黃橘色即可
所有的O-ring請拿下?韷T上high vaccum grease(不要塗太多)
第一次抽真空時,通入nitrogen做cycle purge至少1小時
4楼2009-11-25 20:08:52
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flimxia

银虫 (小有名气)

谢谢,大家的支持,我们烘了几个小时,诶,仪器老了真空抽的特别慢
吾爱吾师,我更爱真理。
5楼2009-11-26 15:59:09
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