| 查看: 230 | 回复: 1 | |||
| 当前主题已经存档。 | |||
icwafer金虫 (正式写手)
|
[交流]
【请教】ITO薄膜工业溅射工艺参数
|
||
|
想知道工业生产ITO薄膜时，直流磁控溅射的功率密度，衬底是否加热（加热的话，衬底温度是多少）？要想获得10 ohm以下的电阻，是否要后续热处理，热处理温度和气氛情况如何？ 谢谢。 |
回复此楼» 猜你喜欢
29号明天会评吗
已经有4人回复
-
国社科又开始会评了，不知道这次命运如何
已经有10人回复
-
梦想
已经有4人回复
-
中青基了要发朋友圈吗？
已经有6人回复
-
基金不中，共勉
已经有12人回复
-
能否申诉？
已经有7人回复
-
有多少人是今天查系统知道结果的？
已经有19人回复
-
面上意见出来了
已经有19人回复
-
为什么到现在没收到通知？
已经有5人回复
-
有没有仍没收到信息的
已经有8人回复
2楼2009-11-24 12:27:21
30