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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 交流探讨 » 【请教】ITO薄膜工业溅射工艺参数
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icwafer

金虫 (正式写手)

[交流] 【请教】ITO薄膜工业溅射工艺参数

想知道工业生产ITO薄膜时，直流磁控溅射的功率密度，衬底是否加热（加热的话，衬底温度是多少）？要想获得10 ohm以下的电阻，是否要后续热处理，热处理温度和气氛情况如何？

谢谢。
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为人民币服务！
1楼 2009-11-23 21:29:42
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flimxia

银虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
自己看文献吧，只有自己看了才会根据自己的需要设计实验方案。
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吾爱吾师，我更爱真理。
2楼2009-11-24 12:27:21
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