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icwafer金虫 (正式写手)
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[交流]
【请教】ITO薄膜工业溅射工艺参数
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想知道工业生产ITO薄膜时，直流磁控溅射的功率密度，衬底是否加热（加热的话，衬底温度是多少）？要想获得10 ohm以下的电阻，是否要后续热处理，热处理温度和气氛情况如何？ 谢谢。 |
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