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wallytom
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[交流]
请教小角掠射GIXRD分析高手
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大家好： 我用脉冲磁控溅射，分别在不同的溅射电压以及衬底温度下制备了Er2O3涂层，做了Er2O3涂层的GIXRD测试，涂层的厚度为1微米，入射角度1°。 水平有限，对于GIXRD有以下几个疑问，请教各位前辈： 1）从哪些现象可以确定涂层是否有择优取向呢？图谱的变化和择优取向的变化有何关系？ 2)当涂层有择优取向时候，图谱将与普通的XRD不同，那么此时的峰强变化能否说明结晶质量的好坏呢？ 请各位前辈看看我的图（在附件中），结合我的图给小弟一点建议，不胜感激啊 [ Last edited by wallytom on 2009-11-23 at 12:03 ] |
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