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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【求助】请问如何在硅片上镀一层二氧化硅薄膜？
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henry24

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】请问如何在硅片上镀一层二氧化硅薄膜？ 已有14人参与

我现在想在硅片上生长碳纳米管，但是效果并不好，看文献有说硅片上镀一层二氧化硅作为缓冲层可以缓冲后面接的金属层与硅片直接反应，一般的厚度大概是500纳米或者1微米。有没有简单的方法直接氧化硅片的表面？我看文献有用热氧化法的，不知道这个方法简单不简单，具体是如何操作？

[ Last edited by henry24 on 2009-11-23 at 06:48 ]
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1楼 2009-11-23 06:42:57
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glghjy

新虫 (初入文坛)
★
henry24(金币+2):谢谢参与
北京大学刘忠范老师他们那能镀，好像一锅能做好几片呢，但是好像不太便宜，应该得一千以上吧，不过相对买的那种就便宜很多了。
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7楼2009-11-23 10:58:16
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙
★ ★
henry24(金币+2):谢谢参与
薰衣草儿(金币+1,VIP+0):欢迎讨论~ 1-21 11:49
单晶硅的热氧化：
http://www.simosolar.com/Learn_t ... %C8%D1%F5%BB%AF.pdf
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没有困难创造困难也要上网。
2楼2009-11-23 08:10:44
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suncedar

银虫 (正式写手)
★ ★
henry24(金币+2):谢谢参与
薰衣草儿(金币+1,VIP+0):欢迎讨论~ 1-21 11:50
直接买带氧化层的硅片最好，各种氧化层厚度的都有买的
赞一下(11人) 回复此楼
3楼2009-11-23 09:08:50
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manuscript

金虫 (正式写手)
★
henry24(金币+2):谢谢参与
引用回帖:
Originally posted by suncedar at 2009-11-23 09:08:
直接买带氧化层的硅片最好，各种氧化层厚度的都有买的

最好的办法，有那种Si的
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2009-11-23 10:02:04
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