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cyxzgjvx

新虫 (小有名气)

[商家供应] 【半导体薄膜代工】ALD/CVD/磁控溅射/热蒸发全工艺

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代金券0元
限量 x 张
满 x 可使用;有效期 x 天;过期可退

内容

微纳代工服务说明如下:
服务范围

◆ ALD服务(芬兰beneq机台:8inch/4台):Al2O3、SiO2、ZnO 、HfO2、ZrO2、In2O3、TiO2、AlN、TiN、Ga2O3、Y2O3、Pt。每炉样品尺寸8inch以内。以上的混合物也都可以做,如HZO、IGZO等。
◆ ALD服务(芬兰beneq机:12inch/1台):Al2O3、TiO2,每炉可以12片4inch或者6片8inch。
◆ CVD服务(日本爱发科大型机台):SiO2、SiN ,样品尺寸8inch以内。
◆ 热蒸发:Cu、Ni、Al、Ag、Au,样品尺寸4inch以内。
◆ 磁控溅射(日本爱发科大型机台):ITO、IGZO、Mo、Ti、Al 、Au、Pt,样品尺寸6inch以内。
设备优势
● 采用半导体级双腔体设计,大幅缩短吹扫时间,降低类CVD反应,解决金属形变及析出问题带来的工艺问题
● 可以针对不同形状的样品定制不同的内腔体实现不同的科研目标
● 腔体GDU前驱体快速阻断设计提高生长质量
● 热源采用金属热辐射设计,保证温度的一致性防止管路堵塞
●  高度开放的recipe,例如泵抽调速或暂停/多喷头模式,适应不同的科研需要,最大权限开放给科研人员
● 8 inch硅片氧化铝非均匀性0.5%以内
样品性质(必填)
为方便技术团队判断是否可以进行代工服务,提高沟通效率,请您务必复制下方信息,填写后发送至公司邮箱(邮箱见下方特别说明
1.尺寸(inch/mm)       
2.厚度(μm)       
3.沉积材质(需镀膜的种类)       
4.基底材质       
5.样品形状(晶圆/方形片/异形片)       
样品提示
● 对于ALD工艺样品必须彻底清洗干净,需耐温,无毒,无易分解、无易扩散(如Cu),无粉末,禁止用mark笔标记样品!禁止有任何有机物!
● 样品尽量采用洁净真空双层包装寄送!样品不能有无尘纸等接触表面,不能用双面胶带固定(无法取下),采用硅片盒和自吸附盒子!
● 因样品不耐温或者工艺不兼容导致的样品损坏,卖方不承担任何赔偿责任。样品通过顺丰寄送,建议声明样品总价值保价,保价费由买方承担。
特别说明
● 提供增值税普通发票,款到开始执行工艺。
● 如需服务,请发送样品相关信息至邮箱:jenny@atomicald.com
兼售ALD设备——双腔体喷淋盘式设备,多所高校和研究所已采用,领先业内水准!如需可联系上方邮箱。
●如有疑问,欢迎致电:17685529658 胡
技术交流
● TEL:18817872921 丁

上海埃拓米半导体有限公司

【半导体薄膜代工】ALD/CVD/磁控溅射/热蒸发全工艺


【半导体薄膜代工】ALD/CVD/磁控溅射/热蒸发全工艺-1


【半导体薄膜代工】ALD/CVD/磁控溅射/热蒸发全工艺-2
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cyxzgjvx

新虫 (小有名气)

cyxzgjvx: 回帖置顶 2026-08-25 16:33:18
欢迎大家邮箱或电话(微信同号)咨询~
121楼2026-08-24 16:52:55
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

9275547804

新虫 (著名写手)


cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
支持楼主,支持原创!
36楼2026-08-24 15:47:54
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9641347157

新虫 (著名写手)


cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
帮楼主顶一下
43楼2026-08-24 15:47:55
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213813316

金虫 (职业作家)


cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
我看好你哟
46楼2026-08-24 15:47:54
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jfac2142

新虫 (职业作家)


cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
想了解一下
50楼2026-08-24 15:48:37
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902631874

新虫 (职业作家)


cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
帮楼主顶一下
59楼2026-08-24 15:48:37
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hs18166zd37

新虫 (职业作家)


cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
有参考价值
已入驻小木虫 1
61楼2026-08-24 15:48:37
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luhf1690

新虫 (职业作家)


cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
祝福楼主咯
64楼2026-08-24 15:49:32
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9562347492

新虫 (著名写手)


cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
这个贴子有意义
70楼2026-08-24 15:49:32
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zxrl8728

新虫 (职业作家)


cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
好贴就要顶哦
73楼2026-08-24 15:49:32
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usei8028

木虫 (职业作家)


cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
我看好你哟
85楼2026-08-24 15:50:08
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wdyv3086

新虫 (职业作家)


cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
我想知道详细的内容
93楼2026-08-24 15:50:08
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780178977

新虫 (著名写手)


cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
已解决,mark
96楼2026-08-24 15:50:08
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781569809

新虫 (著名写手)


cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
我看好你哟
100楼2026-08-24 15:50:08
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9478037030

新虫 (著名写手)


cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
已阅读,点赞
103楼2026-08-24 15:50:45
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9972217746

新虫 (著名写手)


cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
已解决,mark
105楼2026-08-24 15:50:45
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hs18166zd22

铁杆木虫 (著名写手)


cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
支持楼主,支持原创!
106楼2026-08-24 15:50:45
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hs18166zd28

新虫 (职业作家)


cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
想了解一下
119楼2026-08-24 15:50:45
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普通回帖

cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
+1
2楼2026-08-24 15:45:56
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9350944783

新虫 (著名写手)


cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
质量拉满
3楼2026-08-24 15:45:56
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781784114

新虫 (著名写手)

4楼2026-08-24 15:45:56
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hs18166zd54

新虫 (职业作家)


cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
高价值
5楼2026-08-24 15:45:56
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Xyz1115

新虫 (职业作家)


cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
.....
6楼2026-08-24 15:45:56
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cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
7楼2026-08-24 15:45:56
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aelo6902

新虫 (文坛精英)


cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
质量拉满
8楼2026-08-24 15:45:56
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i15KnSX2RMdS

新虫 (著名写手)


cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
真有用
9楼2026-08-24 15:45:56
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9307857699

新虫 (著名写手)


cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
好贴必须顶
10楼2026-08-24 15:45:56
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