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我一定上岸h

新虫 (小有名气)

[交流] 石英玻璃CMP 后清洗 已有2人参与

我现在使用硅溶胶精抛石英玻璃之后,到底该怎么清洗才能洗干净呢? 在AFM下检测很脏,严重影响表面粗糙度的测量   好崩溃,做不下去其他方面都,有经验的各位前辈,求解答
发自小木虫手机客户端
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z2842223

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
首先抛光后立马泡水里,然后用超声波加清洗剂清洗,清洗剂你就随便弄点十二烷基苯磺酸或者十二烷基硫酸钠之类的,pH值9-11,要保证不腐蚀表面,然后再过纯水漂洗,另外要做洁净间操作,清洗完氮气吹干,然后检测的时候尽量多取几个点,选择污染最少的点。
3楼2026-07-02 10:56:58
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babyoflion

金虫 (著名写手)

2楼2026-06-27 11:53:23
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