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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 石英玻璃CMP 后清洗
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我一定上岸h

新虫 (小有名气)

[交流] 石英玻璃CMP 后清洗 已有2人参与

我现在使用硅溶胶精抛石英玻璃之后，到底该怎么清洗才能洗干净呢？ 在AFM下检测很脏，严重影响表面粗糙度的测量   好崩溃，做不下去其他方面都，有经验的各位前辈，求解答
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1楼 2026-06-23 16:01:09
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babyoflion

金虫 (著名写手)
毛刷

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2楼2026-06-27 11:53:23
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z2842223

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
首先抛光后立马泡水里，然后用超声波加清洗剂清洗，清洗剂你就随便弄点十二烷基苯磺酸或者十二烷基硫酸钠之类的，pH值9-11，要保证不腐蚀表面，然后再过纯水漂洗，另外要做洁净间操作，清洗完氮气吹干，然后检测的时候尽量多取几个点，选择污染最少的点。
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3楼2026-07-02 10:56:58
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