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博远微朗 CPI GEMINI-500 磁控溅射仪
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一、品牌与产品简介 博远微朗（北京）技术发展有限公司，专注于真空系统与自动化解决方案的研发与供应，致力于为科研与工业用户提供高性能、高稳定性的镀膜设备。本次推出的 GEMINI-500 磁控溅射镀膜仪，是一款集自动化、智能化、高兼容性于一体的桌面式镀膜设备，专为样品前处理、表面改性等场景设计，可实现金、银、铂等多种金属材料的均匀沉积，广泛适配扫描电镜（SEM）样品制备、材料科学、生命科学等领域需求。 二、产品核心优势 1. 自动化镀膜流程，高效精准可控 全流程自动运行，从抽真空、溅射参数设置到镀膜完成，无需人工全程值守，大幅降低人工干预带来的误差。 标准化流程保障每一次镀膜的重复性与一致性，有效提升实验效率，尤其适合批量样品处理。 2. 热敏样品保护，降低实验风险 搭载热敏溅射功能，支持功率缓慢爬升，避免瞬间高温对易受热损伤样品（如生物样品、高分子材料）造成破坏。 可选配电制冷模块，进一步控制腔体内温度，从源头降低样品受热风险，拓展对热敏性样品的适配场景。 3. 高兼容性与均匀沉积，适配多场景需求 兼容金、银、铂等多种常规溅射靶材，靶材尺寸适配 φ50 规格，满足不同实验对镀膜材料的需求。 腔体采用抗刮石英玻璃材质，尺寸达 φ186×120mm（高），可适配多样品规格，且沉积过程均匀稳定，确保样品表面镀膜厚度一致，成像效果清晰。 4. 智能操作与模块化设计，易用性拉满 触控式操作界面直观清晰，参数设置、状态监控一键完成，新手也能快速上手操作。 模块化结构设计，便于后期升级维护，降低设备维护成本，延长设备使用寿命。 三、详细技术参数 表格 参数项 规格详情 核心配置 （泵油）旋转真空泵 抽速性能 50 Hz: 8 m³/h (2.2 L/s) / 60 Hz: 9.6 m³/h (2.6 L/s) 极限真空度 2 Pa 最大溅射电流 100mA 工作压力范围 2 Pa - 10 Pa 抽真空时间 ＜5 Min（2 Pa 条件下） 真空测量范围 从大气压到 2×10⁻² mbar 气体控制方式 气体流量控制阀 腔体规格 φ186 × 120mm（高），抗刮石英玻璃材质 磁控靶源 靶尺寸 φ50，适配靶材：金、银、铂 设备尺寸 / 重量 430mm（长）× 390mm（宽）× 420mm（高），约 30kg 工作电源 AC 220V 50Hz 电源功率 ＜2000W 冷却方式 电制冷（可选配） 质量保障 一年有限质量保证，提供完善保修与技术支持 认证标准 CE 认证，安全可靠 四、设备实拍展示 （可搭配设备整机、腔体工作状态、触控操作界面、背部接口实拍图使用，直观呈现设备外观与细节） 五、适用场景 扫描电镜（SEM）样品制备：为非导电样品镀制均匀金属导电层，消除荷电效应，提升成像质量。 材料科学研究：表面改性、薄膜沉积实验，为材料性能表征提供可靠的样品处理方案。 生命科学领域：生物样品、热敏样品的低损伤镀膜处理，保障样品结构完整性。 教学与科研实验室：桌面式设计，安装便捷，适配高校、科研院所的基础镀膜教学与实验需求。 六、联系我们 如需了解设备详细报价、定制化需求或技术咨询，欢迎随时联系： 公司：博远微束（北京）科贸有限公司 地址：北京市海淀区清河龙岗路 12 号清缘里中区 12 号楼 - 1 层 网址：www.cpi2004.com 电话：+86 185 1057 0048 邮箱：sales@cpi2004.com  |
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