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[交流] 博远微朗 CPI GEMINI-500 磁控溅射仪

一、品牌与产品简介
博远微朗(北京)技术发展有限公司,专注于真空系统与自动化解决方案的研发与供应,致力于为科研与工业用户提供高性能、高稳定性的镀膜设备。本次推出的 GEMINI-500 磁控溅射镀膜仪,是一款集自动化、智能化、高兼容性于一体的桌面式镀膜设备,专为样品前处理、表面改性等场景设计,可实现金、银、铂等多种金属材料的均匀沉积,广泛适配扫描电镜(SEM)样品制备、材料科学、生命科学等领域需求。
二、产品核心优势
1. 自动化镀膜流程,高效精准可控
全流程自动运行,从抽真空、溅射参数设置到镀膜完成,无需人工全程值守,大幅降低人工干预带来的误差。
标准化流程保障每一次镀膜的重复性与一致性,有效提升实验效率,尤其适合批量样品处理。
2. 热敏样品保护,降低实验风险
搭载热敏溅射功能,支持功率缓慢爬升,避免瞬间高温对易受热损伤样品(如生物样品、高分子材料)造成破坏。
可选配电制冷模块,进一步控制腔体内温度,从源头降低样品受热风险,拓展对热敏性样品的适配场景。
3. 高兼容性与均匀沉积,适配多场景需求
兼容金、银、铂等多种常规溅射靶材,靶材尺寸适配 φ50 规格,满足不同实验对镀膜材料的需求。
腔体采用抗刮石英玻璃材质,尺寸达 φ186×120mm(高),可适配多样品规格,且沉积过程均匀稳定,确保样品表面镀膜厚度一致,成像效果清晰。
4. 智能操作与模块化设计,易用性拉满
触控式操作界面直观清晰,参数设置、状态监控一键完成,新手也能快速上手操作。
模块化结构设计,便于后期升级维护,降低设备维护成本,延长设备使用寿命。
三、详细技术参数
表格
参数项        规格详情
核心配置        (泵油)旋转真空泵
抽速性能        50 Hz: 8 m³/h (2.2 L/s) / 60 Hz: 9.6 m³/h (2.6 L/s)
极限真空度        2 Pa
最大溅射电流        100mA
工作压力范围        2 Pa - 10 Pa
抽真空时间        <5 Min(2 Pa 条件下)
真空测量范围        从大气压到 2×10⁻² mbar
气体控制方式        气体流量控制阀
腔体规格        φ186 × 120mm(高),抗刮石英玻璃材质
磁控靶源        靶尺寸 φ50,适配靶材:金、银、铂
设备尺寸 / 重量        430mm(长)× 390mm(宽)× 420mm(高),约 30kg
工作电源        AC 220V 50Hz
电源功率        <2000W
冷却方式        电制冷(可选配)
质量保障        一年有限质量保证,提供完善保修与技术支持
认证标准        CE 认证,安全可靠
四、设备实拍展示
(可搭配设备整机、腔体工作状态、触控操作界面、背部接口实拍图使用,直观呈现设备外观与细节)
五、适用场景
扫描电镜(SEM)样品制备:为非导电样品镀制均匀金属导电层,消除荷电效应,提升成像质量。
材料科学研究:表面改性、薄膜沉积实验,为材料性能表征提供可靠的样品处理方案。
生命科学领域:生物样品、热敏样品的低损伤镀膜处理,保障样品结构完整性。
教学与科研实验室:桌面式设计,安装便捷,适配高校、科研院所的基础镀膜教学与实验需求。
六、联系我们
如需了解设备详细报价、定制化需求或技术咨询,欢迎随时联系:
公司:博远微束(北京)科贸有限公司
地址:北京市海淀区清河龙岗路 12 号清缘里中区 12 号楼 - 1 层
网址:www.cpi2004.com
电话:+86 185 1057 0048
邮箱:sales@cpi2004.com

博远微朗 CPI GEMINI-500 磁控溅射仪
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