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btucottbus

铁虫 (初入文坛)

[求助] 基底STO,薄膜SRO,XRD里面的振荡,是laue震荡还是kiessig振荡? 怎么判断? 已有1人参与

大家好,我在sto基底上用pld生长了sro薄膜,交给别的机构测了xrd。基底和薄膜的峰都很明显。我要测薄膜的厚度。红箭头标出来的振荡,是laue震荡还是kiessig振荡? 怎么判断?
金币和红包的设置,还不太懂,正在摸索。

基底STO,薄膜SRO,XRD里面的振荡,是laue震荡还是kiessig振荡? 怎么判断?
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rlafite

至尊木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

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Laue 振荡(也叫 thickness fringes / Pendellösung fringes)来源有限厚度晶体的相干衍射, 出现位置:围绕某一个布拉格峰(通常是薄膜峰). 薄膜 单晶质量高, 界面和表面平整. 振荡间距 ∝ 1 / 薄膜厚度
本质:晶体“有限尺寸” → 动量空间出现干涉条纹

Kiessig 振荡来源:X 射线在界面(空气/薄膜、薄膜/基底)之间的反射干涉
出现小角区(XRR 区域)或整个 2θ 扫描中缓慢振荡背景
条件不要求单晶,  只要有界面即可. 也能给厚度,但对密度/粗糙度更敏感
本质:多界面反射 → 光学干涉

如果振荡是“贴着 SRO 衍射峰、对称分布”,那就是 Laue 振荡(厚度振荡),可以直接用来算薄膜厚度。
2楼2026-04-09 23:57:34
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rlafite

至尊木虫 (正式写手)

要测薄膜的厚度, do X-Ray reflectivity (XRR)! You can directly get the thickness and roughness of your film for XRR data.
3楼2026-04-10 02:41:49
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