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yygkitty银虫 (小有名气)
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[交流]
【求助】磁控溅射使用过程中出现的问题
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各位虫友，不知道各位使用磁控溅射设备吗？我我们新来的一台磁控，沈阳的。 我第一次做实验时，效果比较好，膜上面杂质很少，结合也很紧密。 但是第二次做实验时，薄膜上就有比较多的大颗粒（相对薄膜的晶粒），结合也不是很好，还有细小的洞。 设备相同，靶也是同一个，为什么两次的实验结果会有很大的差别呢 请各位虫友帮忙看看 |
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铁杆木虫 (小有名气)
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2楼2009-11-13 10:33:24