| 查看: 415 | 回复: 2 | |||
| 当前主题已经存档。 | |||
yygkitty银虫 (小有名气)
|
[交流]
【求助】磁控溅射使用过程中出现的问题
|
||
|
各位虫友，不知道各位使用磁控溅射设备吗？我我们新来的一台磁控，沈阳的。 我第一次做实验时，效果比较好，膜上面杂质很少，结合也很紧密。 但是第二次做实验时，薄膜上就有比较多的大颗粒（相对薄膜的晶粒），结合也不是很好，还有细小的洞。 设备相同，靶也是同一个，为什么两次的实验结果会有很大的差别呢 请各位虫友帮忙看看 |
回复此楼» 猜你喜欢
售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急
已经有7人回复
-
售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急
已经有7人回复
-
售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急
已经有8人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急
已经有15人回复
-
售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急
已经有13人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急
已经有18人回复
-
售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急
已经有13人回复
-
售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急
已经有14人回复
-
售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急
已经有22人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急
已经有22人回复
jsszwutao
铁杆木虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 6364.6
- 散金: 87
- 帖子: 202
- 在线: 354.3小时
- 虫号: 787367
- 注册: 2009-06-05
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
2楼2009-11-13 10:33:24
tmxkzk
木虫 (正式写手)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 1470.3
- 散金: 276
- 红花: 3
- 帖子: 490
- 在线: 253.5小时
- 虫号: 876215
- 注册: 2009-10-18
- 专业: 无机合成和制备化学
3楼2009-12-09 21:38:47
