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[交流]
【求助】求助:请问没有光刻设备的条件下怎样使用掩模板?
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| 我现有光刻掩模板一块,没有光刻设备,只有普通高压汞灯一个(主波长365nm),想通过汞灯光照,在基片上得到掩模板上的图形,求助:怎样在没有光刻设备的条件下在基片上可以得到掩模板上的图形?是否只要掩模板和基片非常接近,进行光照就可以得到图形?这样会不会发生图形的分辨率下降?或是由于透过掩模板的光线会发生衍射导致基片全部曝光,得不到图案?谢谢! |
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