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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【求助】求助:请问没有光刻设备的条件下怎样使用掩模板?
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donghuijie

新虫 (小有名气)

[交流] 【求助】求助:请问没有光刻设备的条件下怎样使用掩模板?

我现有光刻掩模板一块,没有光刻设备,只有普通高压汞灯一个(主波长365nm),想通过汞灯光照,在基片上得到掩模板上的图形,求助:怎样在没有光刻设备的条件下在基片上可以得到掩模板上的图形?是否只要掩模板和基片非常接近,进行光照就可以得到图形?这样会不会发生图形的分辨率下降?或是由于透过掩模板的光线会发生衍射导致基片全部曝光,得不到图案?谢谢!
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1楼 2009-11-11 16:03:22
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努力灌水

铜虫 (小有名气)
★ ★ ★
donghuijie(金币+2,VIP+0):非常及时 11-11 16:21
mhwu514(金币+1,VIP+0):谢谢讨论。 11-11 18:06
取决于你的PATTERN多大了，可控性还有分辨率没有专业光刻机效果好，但是耐心点还是可以作出一些成功的光刻的
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2楼2009-11-11 16:13:16
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donghuijie

新虫 (小有名气)
是不是掩模板和基片之间,除基片外的其他部位全部要用锡箔纸包住以防反射?
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3楼2009-11-11 16:20:18
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zeusshang

金虫 (小有名气)
★ ★
donghuijie(金币+2,VIP+0): 12-7 15:53
大哥，首先问一下，有光刻胶没有？
手工不是不可以做，很早期不都是手工做的么，只不过质量比较差而已，分辨率还不是主要问题，问题是你这次做了下次想要重复出来非常难，一台光刻机几百万到上千万不是瞎收钱的。

反射没有关系，锡箔纸的反射率更高

[ Last edited by zeusshang on 2009-11-11 at 21:55 ]
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微纳加工
4楼2009-11-11 21:53:58
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donghuijie

新虫 (小有名气)
我也想用光刻机做，可是没有条件，不知道上海哪里有光刻设备的。
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5楼2009-11-12 11:04:51
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tlmowen09

至尊木虫 (文坛精英)
还是应该找专业光刻机好吧
那里的光好像是排除了一些不用的光 吧
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6楼2009-12-27 22:08:19
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ffffjjjj

金虫 (著名写手)
你好，能告诉我在哪里搞到的光刻掩模板吗？pattern的分辨率大概是多少？我最近作试验，也想用呢。谢谢了
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7楼2009-12-28 11:03:28
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donghuijie

新虫 (小有名气)

光刻版

引用回帖:
Originally posted by ffffjjjj at 2009-12-28 11:03:
你好，能告诉我在哪里搞到的光刻掩模板吗？pattern的分辨率大概是多少？我最近作试验，也想用呢。谢谢了

我在上海微电子研究所买的,分辨率是3微米.
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8楼2010-01-04 10:34:01
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糊涂的snow

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by ffffjjjj at 2009-12-28 11:03:28:
你好，能告诉我在哪里搞到的光刻掩模板吗？pattern的分辨率大概是多少？我最近作试验，也想用呢。谢谢了

上网搜搜 很多做这个的啊
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没有做不到只有想不到
9楼2010-03-04 10:53:42
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maccaboy

至尊木虫 (著名写手)
还与光刻机的分辨率有关  看你的需求了
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10楼2010-03-08 09:30:48
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