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IGZO薄膜晶体管输出特性曲线异常 已有2人参与
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希望路过的师兄师姐能来指导一下，最近做的一批IGZO晶体管，输出特性曲线中的Id竟然会随着漏电压的增大而减小，而且在栅压较小时，Id还是负的，这是为什么呀？图3是器件结构，另外，IGZO靶材是新买的，但是做完之后表面会变黑，这是因为靶材质量不好，还是溅射条件的问题呢？   发自小木虫手机客户端 |
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