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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » IGZO薄膜晶体管输出特性曲线异常
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墨舞风飘眉

铁虫 (初入文坛)

[交流] IGZO薄膜晶体管输出特性曲线异常 已有2人参与

希望路过的师兄师姐能来指导一下，最近做的一批IGZO晶体管，输出特性曲线中的Id竟然会随着漏电压的增大而减小，而且在栅压较小时，Id还是负的，这是为什么呀？图3是器件结构，另外，IGZO靶材是新买的，但是做完之后表面会变黑，这是因为靶材质量不好，还是溅射条件的问题呢？

IGZO薄膜晶体管输出特性曲线异常


IGZO薄膜晶体管输出特性曲线异常-1


IGZO薄膜晶体管输出特性曲线异常-2

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1楼 2025-10-30 12:49:46
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左乘行变换

金虫 (小有名气)
溅射的问题
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2楼2025-11-01 13:33:40
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北京中晟材料

新虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我这有各种溅射靶材

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3楼2025-12-19 20:37:11
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