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dierman

铁杆木虫 (正式写手)

[求助] 请问如何去除硅表面的二氧化硅,且不会损伤镍? 已有1人参与

如题,因为硅片表面形成的二氧化硅可能比较厚,用纯柠檬酸溶液去除不了,特来咨询,同时要求该方法不会损伤到镍,谢谢!
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598878157

版主 (文学泰斗)

rky

【答案】应助回帖

看你要做什么用了。也看你的氧化硅层,镍层厚度分别是多少。如果是电子器件的话需要用反应离子刻蚀。湿法刻蚀的话得用氢氟酸了,但是要想控制只刻蚀氧化硅层,需要多摸索工艺条件了。
3楼2026-02-09 13:43:14
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