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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 无机/物化 » 无机化学 » 请问如何去除硅表面的二氧化硅，且不会损伤镍？
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dierman

铁杆木虫 (正式写手)

[求助] 请问如何去除硅表面的二氧化硅，且不会损伤镍？ 已有1人参与

如题，因为硅片表面形成的二氧化硅可能比较厚，用纯柠檬酸溶液去除不了，特来咨询，同时要求该方法不会损伤到镍，谢谢！
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1楼 2025-10-09 09:21:39
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lwb1985

新虫 (小有名气)
★ ★
dierman(冰点降温代发): 金币+2, 鼓励交流，欢迎常来无机物化版块。 2025-11-24 09:54:35
烧碱试试可以不
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2楼2025-11-24 00:36:52
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598878157

版主 (文学泰斗)

rky

【答案】应助回帖

看你要做什么用了。也看你的氧化硅层，镍层厚度分别是多少。如果是电子器件的话需要用反应离子刻蚀。湿法刻蚀的话得用氢氟酸了，但是要想控制只刻蚀氧化硅层，需要多摸索工艺条件了。
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3楼2026-02-09 13:43:14
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