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btvipvip

新虫 (正式写手)

[交流] 如何确定MBE外延膜的厚度

各位大侠:用MBE 方法在GaAs上做的异质外延膜,厚度大概40nm左右,如何确定外延膜的厚度?(精确度在2nm以内)菜鸟在线等各位大侠的帮助.不胜感激!!!!!!!!!!!!!
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btvipvip

新虫 (正式写手)

问了两家单位(物理所和北京师范大学)都说到不了这个精度,都建议用别的手段,弱弱的问下,场发射的能到这个精度么?北京哪家单位有呢?等待您的回复。
3楼2009-11-11 23:31:51
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bryano

木虫 (正式写手)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
eeqeeq0002(金币+1,VIP+0):谢谢 参与 11-11 08:20
场发射SEM应该可以到这个精度。
2楼2009-11-11 07:27:06
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