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微纳加工合作已有4人参与
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本实验室有电子束曝光，激光直写，磁控溅射，电子束蒸发，深硅科室，低温刻蚀等各类半导体微纳加工设备和百级超净间实验室。长期致力于微纳加工工艺开发，希望和微纳器件研究领域的同行开展合作。合作领域可以是超构透镜，光栅，斜齿光栅，闪耀光栅，微针，探针，大高宽比微纳结构等 发自小木虫IOS客户端 |
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6楼2025-10-20 18:11:55
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