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微纳加工合作 已有4人参与
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本实验室有电子束曝光,激光直写,磁控溅射,电子束蒸发,深硅科室,低温刻蚀等各类半导体微纳加工设备和百级超净间实验室。长期致力于微纳加工工艺开发,希望和微纳器件研究领域的同行开展合作。合作领域可以是超构透镜,光栅,斜齿光栅,闪耀光栅,微针,探针,大高宽比微纳结构等 发自小木虫IOS客户端 |
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北京中晟材料
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